氧化剂感测器

产品说明：
H2O2(双氧水)或氯酸钠之概念及测定原理
双氧水的氧化性很强，在氯化亚铜氧化为氯化铜的过程中，能增加蚀刻的速度，就再生剂而言，其扮演着很重要的角色。虽然，空气中的氧也会产生再生反应，但是，一旦生产量增加时，氧的再生速度就来不及，所以为了促进蚀刻速度，作为氧化剂的双氧水或氯酸钠是不可缺少的。氧化剂传感器，是将氧化剂做为蚀刻液再生反应的促进剂。在最小需要量下，控制最适当的蚀刻液浓度。因蚀刻速度的安定化和使用量的减少，可大幅提高品质、
降低成本。
目的:即是以「如何使用最小需要量的双氧水来管理药液品质」作为参考量。
基于这样的参考量，本再生控制器并不是管理氧化剂，而是检测出蚀刻药液的蚀刻能力；一方面用最少的氧化剂来补足蚀刻液中，由氧气(O2)再生的不足部份，一方面维持蚀刻生产的稳定性。
(1)根据盐酸的再生方式（空气再生）
(2)用双氧水产生再生反应的方式(药品再生)
双氧水传感器的测定原理
铜棒点在蚀刻液中反应时，依据药液的浓度和蚀刻能力(蚀刻速度)会产生电荷量的变化。氧化剂传感器会检测出所发生的电荷量(出力)，并传送到“SCX9100”控制器。“SCX9100”控制器再将氧化剂浓度和蚀刻速度等的相关资料入力；双氧水传感器所得到的出力在控制器上计算并显示。其单位不是MOL/L(浓度)而是用MV来表示。
一价铜离子和二价铜离子的含量对于测定值而言会有何变化？
当基板的铜(Cu)溶解于蚀刻药液(CuCl2)中，二价铜会转变为一价铜。(随着铜的溶解，电位值既会下降)。一价铜和HCl会因空气中的O2而产生再生反应。但是，生产量大时，空气的O2来不及再生的部份，便需要H2O2或氯酸钠做氧化剂。
当一价铜一增加，电位值就会下降，而蚀刻液中的一价铜再生为二价铜时，电位值就会上升.
(3)氯化铁溶液再生反应的方式(药品再生)
(FeCl3+Cu CuCl+ FeCl2)( FeCl3 +CuClCuCl2+ FeCl2)(CuCl2+Cu CuCl)
(2FeCl3+Cu CuCl2+2FeCl2)(6FeCl2+MClO×+6HCl6FeCl3+aMCl+bH2O)
(CuCl2+HCl+MClO×+CuCl2+aMCl+bH2O)